川启重大科学仪器设备项目

　　【大公报讯】记者向芸成都报道：9日，由成都高新区企业成都太科光电牵头，协同国内多家大学、研究所和企业实施的国家重点研发计划重大科学仪器设备开发项目“超光滑表面无损检测仪”正式启动。据悉，这是2016年国家“十三五”重点研发计划首批开发项目之一，也是四川省首个及唯一一个国家重点研发计划“重大科学仪器设备开发”专项项目。

　　据了解，该仪器主要用于高精度非接触测量，可广泛应用于高速集成电路、微电子集成电路、光电集成电路、半导体製造、半导体照明以及太阳能新能源电池等基片的关键参数快速检测，还可应用于大型现代光学工程系统，如大型高功率固体激光系统、极紫外光刻、航空航天空间光学等领域中大口径元件面型、材料特性等参数测量。